RDM Doppelrohr-Magnetrons mit rotierenden Targets sind für eine Vielzahl von Wechselspannungs- und Gleichspannungsprozessen geeignet mit einem Leistungsspektrum zwischen 10 und 180 Kilowatt. Sie können mit verschieden Magnetarten ausgestattet werden und bieten ein vollintegriertes Gaseinlasssystem für optimale Prozesssteuerung.
RDMT – T-Series Magnetrons: VON ARDENNE hat die Sputter-Quellen-Technologie mit Turbomolekularpumpen kombiniert, um eine neue Komponentenklasse zu schaffen: die T-Series Magnetrons.
RDM/RDMT Magnetrons
Technologiekompetenz
![[] Magnetron RDM](/fileadmin/user_upload/VAOP/komponenten/magnetron_rdm/rdm_01.jpg "Magnetron RDM")
![[] Magnetron RDMT](/fileadmin/user_upload/VAOP/komponenten/magnetron_rdm/rdmt_01.jpg "Magnetron RDMT"){kind=small}