我们的集群系统基于搭载大量模块化单元的平台打造。因此，每台设备均可根据您的具体应用场景进行定制化配置。此外，还可集成各类特殊功能模块以满足您的个性化需求。凭借这种高度灵活性，冯阿登纳（VON ARDENNE）集群系统将助力您降低总体拥有成本。
Moduls
传载室 / 过渡真空室
带料匣真空传载室
带传送机构的真空传载室）
上料 / 下料工位
进料传输室可在不对系统工艺腔室破真空的情况下完成基板装载。
现有多种型号可供选择，包括单片基板存储式或基板料匣式。
配备传输单元的负载锁腔还可选装加热模块和 / 或辉光放电模块。
前处理 / 后处理腔室
前处理腔室可装配用于基板镀膜前处理的相关组件，例如：辉光放电装置、反溅射蚀刻装置、离子源或加热器。
加热器可与上述所有其他组件组合使用。
加热装置
刻蚀
冷却系统
工艺腔室
镀膜腔室可搭载不同工艺模块。可实现的镀膜工艺包括：溅射（平面式或聚焦式）、热蒸发、电子束蒸发以及等离子体增强化学气相沉积（PECVD）。
在溅射工艺中，工艺腔室可适配冯阿登纳标准平面磁控管、旋转磁场磁控管，或第三方磁控管，例如双环磁控管（FEP）。
设备还可集成加热器、测量仪表等附加组件，用于工艺监控与控制。
聚焦溅射
平面溅射
蒸发
PECVD
传输腔室
传输腔室配备自动传输系统，可确保基板与载体在设备各腔室间安全输送。
为实现更高产能，6 工位和 8 工位腔室可选配双臂机器人。
4 Ports
6 Ports
8 Ports
配置示例
研发设备
带单基板装载腔的溅射腔室
批次式系统
用于研发及小批量生产的蒸发式间歇系统
CS400ES
用于研发及小批量生产的集群系统
CS400PS
用于研发及中小批量生产的集群系统
CS400S
量产型集群系统