Кластерные системы компании VON ARDENNE идельно подходят для удовлетворения различных технологических требований экспериментально-методических учреждений и клиентов, которым необходим инструмент для серийного производства.
Это особенно справедливо в отношении развития новых технологий нанесения покрытия и создания слоев с особыми свойствами и высокой воспроизводимостью.
Системы могут быть сконфигурированы индивидуально для различных целей: до семи производственных камер и один или более загрузочный шлюз могут быть установлены вокруг центральной шлюзовой камеры. Все камеры отделены друг от друга, учитывая как вакуум, так и технологию управления.
Наши кластерные системы подходят для обработки подложек с учетом требований заказчика, имеющих максимальный размер 8 дюймов в диаметре или 200 мм x 200 мм. Для подложек малых размеров или имеющих нестандартную форму, как, к примеру, трехмерные объекты или фрагменты, используется несущий элемент.
